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垂直度量測-氣浮導軌

高精度垂直量測,以氣浮方式製做,完全無接觸式,

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氣浮導軌

行程:800mm

精度:5u

環境濕度 Humidity:50%

溫度 Temperature:20±1℃

壓力 using air pressure: 4kg/cm2

平台平面度 5μm 以下

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