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全自動化高溫無塵無氧化烤箱
全自動化烤箱可與EFEM或機械手臂搭配 可把相關數值上傳至伺服器，達到無人工廠自動化之目的
#無塵無氧化烤箱#自動控制#物聯網#烤箱#自動化
全自動化高溫無塵無氧化烤箱特點說明
自動控制與物聯網整合
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佈建感測器 ：溫度感測器、含氧量偵測器、N2氣體含量感測器、無人搬運車(AGV)電池容量檢知、物料在席檢知器(Loader/Unloader/烤箱)，自動開關位置檢知。
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佈建驅動器：烤箱自動開關馬達與控制器、無人搬運車(AGV)(驅動馬達與堆高擺放 )、風流控制馬達在Loader與烤箱設備各配置一個連網型PLC控制器；Loader與機械手臂之間的聯繫透過WiFi聯網。
產品應用
- 半導體、PCB、LED、電子產業...等需自動化生產之產業。
烤箱規格 OVEN SPECIFICATION (PLC/PC base)
製程溫度:RT ~450℃
溫度均勻度:± 1.5%
無塵度:Class 100
冷卻方式:氣冷(N2/CDA)、水冷
搭配設備:EFEM 、機械手臂
含氧量:20ppm
操作介面人性化操作介面，並可符合 CIM,Ethernet & SECS/GEM, PCB ECI
選配．氣冷快速降溫方式:
．Solvent 回收系統
．快拆式內襯裝置
製程:晶片和基板形式固化，用於PR/PI固化和烘烤；是晶圓等級及扇出型面板級封裝最佳固化解決方案。
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