瀏覽次數:948by:逵碩實業
200mm 立式爐管
本公司於2010年開始對外作 200mm 立式爐管販賣， 以台灣自製的設備來提供服務，本設備開發是經由工業局 專案補助開發完成，8"立式爐管由Robot 傳送，取代人工傳送 晶圓，減少
#工業局#設備#晶圓#控制#自由#模組化#選擇
本公司於2010年開始對外作 200mm 立式爐管販賣，
以台灣自製的設備來提供服務，本設備開發是經由工業局
專案補助開發完成，8"立式爐管由Robot 傳送，取代人工傳送
晶圓，減少外在的污染。
製程範圍:APCVD Oxide, Anneal
LPCVD POLY(620~655度)
由台灣自製，提供較佳的成本選擇，外製設備價格高，全新設備
價格高，中古設備風險高。
本設備使用PLC為控制單元，穩定度高，不會因為版本更新而造成
零件短缺，維修容易(目前皆為模組化)。
製程溫區3~5段P.I.D控制(自由選擇)。
氣體控制為MFC控制。
以台灣自製的設備來提供服務，本設備開發是經由工業局
專案補助開發完成，8"立式爐管由Robot 傳送，取代人工傳送
晶圓，減少外在的污染。
製程範圍:APCVD Oxide, Anneal
LPCVD POLY(620~655度)
由台灣自製，提供較佳的成本選擇，外製設備價格高，全新設備
價格高，中古設備風險高。
本設備使用PLC為控制單元，穩定度高，不會因為版本更新而造成
零件短缺，維修容易(目前皆為模組化)。
製程溫區3~5段P.I.D控制(自由選擇)。
氣體控制為MFC控制。
-
最新洽詢
-
UNION EMA 400 曝光機維修
(黃*慶) -
海外採購【伺服驅動器】1個
(刘*光)#伺服驅動器 -
我需要詢價 外匯發電機
(巨鼎*****)#維修#自動化設備#中古#控制 -
加熱導輪+溫控模組
(元**技)#測試#需求#模組#溫控 -
H-D96W-9312 溫控錶頭
(儀*科*****)#控制#溫控#溫控器
逵碩實業
公司位置：新竹市-東區
統一編號：13022610
淞啟工業逵碩科技
逵碩實業產品
-
8"wafer oxide film代工
200mm Wafer Dry 和Wet Oxide film 代工 膜厚:5000A~10000A 均勻性<4% -
石英Tank加熱維修
石英Tank加熱器維修，維修項目包括: 加熱單元更換。 隔熱包裝。 石英Tank維修 PVFtank更換 圖一為維修後外觀 圖二三與圖四為維修後升溫測試 -
陰極磁管
本公司開發平板式陰極磁管，適用於平板式靶材，可依客戶之尺寸製作，目前已突破其關鍵技術， 其關鍵技術為如何將磁力線導引出來，當磁鐵上方有金屬遮蔽，此時磁力會減低，目前本公司可 將表面磁力維持1200 -
電阻加熱器
加熱爐體設計製造1 溫度範圍:400℃~ -
8吋客製化實驗
8吋客製化實驗