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半導體濕蝕刻客製化製造:
1)化學蝕刻&供酸設備,超音波清洗設備。
2)12吋水平式旋乾設備-(再生晶圓專用) 。
3)LED,生化鎵6吋濕蝕刻設備。
4)各式供酸櫃,耐酸桶製作,槽體修補,管路修改。
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